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非晶硅的制備

鉅大鋰電  |  點(diǎn)擊量:0  |  2019年08月19日  

1)等離子化學(xué)氣相沉積法

該法主要是采用H2稀釋的硅烷氣體的熱分解,硅烷分解生成硅原子,

沉積在襯底材料上形成非晶硅薄膜。


太陽能電池的制備


硅片切割--去除損傷層--制絨-擴(kuò)散-刻蝕

-pECVD沉積減反射層-絲網(wǎng)印刷上下電極

-燒結(jié)形成金屬接觸-分類檢測-包裝


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