1.硅基薄膜電池

硅基薄膜電池包括非晶硅薄膜電池、微晶硅薄膜電池、多晶硅薄膜電池，而目前市場(chǎng)重要是非晶硅薄膜電池產(chǎn)品。非晶硅的禁帶寬度為1.7eV，通過摻硼或磷可得到p型或n型a-Si。為了提高效率和改善穩(wěn)定性，還發(fā)展了p-i-n/p-i-n雙層或多層結(jié)構(gòu)式的疊層電池。

2.碲化鎘（CdTe）薄膜電池

碲化鎘薄膜電池是最早發(fā)展的太陽電池之一，由于其工藝過程簡(jiǎn)單，制造成本低，實(shí)驗(yàn)室轉(zhuǎn)換效率已超過16%，大規(guī)模效率超過12%，遠(yuǎn)高于非晶硅電池。不過由于鎘元素可能對(duì)環(huán)境造成污染，使用受到限制。近年來美國FirstSolar公司采取了獨(dú)特的蒸氣輸運(yùn)法沉積等特殊措施，解決了污染問題，開始大規(guī)模生產(chǎn)，并為德國建造世界最大的光伏電站供應(yīng)40MW碲化鎘太陽電池組件。

3.銅銦鎵硒（CIGS）薄膜電池

銅銦鎵硒薄膜電池是近年來發(fā)展起來的新型太陽電池，通過磁控濺射、真空蒸發(fā)等方法，在基底上沉積銅銦鎵硒薄膜，薄膜制作方法重要有多元分布蒸發(fā)法和金屬預(yù)置層后硒化法等?；滓话阌貌Ａ?，也可用不銹鋼作為柔性襯底。實(shí)驗(yàn)室最高效率已接近20%，成品組件效率已達(dá)到13%，是目前薄膜電池中效率最高的電池之一。

4.砷化鎵（GaAs）薄膜電池

砷化鎵薄膜電池是在單晶硅基板上以化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)GaAs薄膜所制成的薄膜太陽電池，其直接帶隙1.424eV，具有30%以上的高轉(zhuǎn)換效率，很早就被應(yīng)用于人造衛(wèi)星的太陽電池板。然而砷化鎵電池價(jià)格昂貴，且砷是有毒元素，所以極少在地面應(yīng)用。

5.染料敏化薄膜電池

染料敏化太陽電池是太陽電池中相當(dāng)新穎的技術(shù)產(chǎn)品，由透明導(dǎo)電基板、二氧化鈦（TIO2）納米微粒薄膜、染料（光敏化劑）、電解質(zhì)和ITO電極所組成。目前仍停留在實(shí)驗(yàn)室階段，實(shí)驗(yàn)室最高效率在11%左右。