1引言

隨著現(xiàn)代化社會(huì)的發(fā)展，大功率開(kāi)關(guān)電源的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。在單晶硅行業(yè)里，單臺(tái)大功率開(kāi)關(guān)電源作為一種新的單晶硅直流加熱電源得到了成功應(yīng)用，它與相控整流電源相比。在效率、體積、重量、輸出紋波等方面均表現(xiàn)出明顯優(yōu)勢(shì)。但單臺(tái)大功率開(kāi)關(guān)電源在設(shè)計(jì)和制造中存在較大困難，且成本不合算，可靠性和穩(wěn)定性難以保障，不利于長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展。

針對(duì)單臺(tái)大功率開(kāi)關(guān)電源的不足，采用移相全橋ZVS控制技術(shù)和主從控制方式，設(shè)計(jì)并研制了一臺(tái)輸出電壓從O一60V、電流從0~3.3kA持續(xù)可調(diào)，額定功率為180kW的大功率并聯(lián)軟開(kāi)關(guān)電源。電源采用N+1并聯(lián)備份?？色@得冗余功率。使其在部分失效時(shí)仍可以供應(yīng)100%負(fù)載功率，并可在不間斷系統(tǒng)輸電情況下，對(duì)失效的模塊進(jìn)行熱更換。具有可靠性高，效率高。設(shè)計(jì)靈活，單個(gè)模塊電流應(yīng)力小。維護(hù)和實(shí)現(xiàn)冗余方便等優(yōu)點(diǎn)。

2系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)

圖1示出大功率并聯(lián)軟開(kāi)關(guān)電源的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖。該系統(tǒng)重要由三相不控整流、直流濾波電感Ld、功率單元模塊、輸出濾波電容C0、主控制電路及單元控制電路組成。Ld重要用于抑制濾波設(shè)備電容器上電瞬間的沖擊電流。防止開(kāi)關(guān)管通斷時(shí)引起直流側(cè)電流大幅度波動(dòng)?？刂撇呗圆捎弥鲝目刂品绞剑噪娏髯鳛閮?nèi)環(huán)、功率為外環(huán)的雙閉環(huán)pI調(diào)節(jié)控制。

圖1系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖